測定物の表面を触針が移動し、測定点の表面の粗さを計測します。また、計測した部分の断面図をグラフによって見る事ができます。

SEMは、試験片の表面を高倍率で拡大して観察します（x30～1万倍程度）電解研磨やめっきなどの表面処理をすることで、サンプルの表面がどのように変化しているのか観察できます。 また、EDS では、表面や付着物がどのような元素なのかを調べる事ができます。

紫外線を照射することで蛍光を発する物質が検出されるかが判ります。また、汚れ自体では蛍光を発しない油脂類には、蛍光染料を塗布して洗浄評価が可能です。

洗浄液中に含まれる溶けていない粒子の数をカウントします。 粒子の直径は、0.3，0.5，1，2，5，10μm の粒子。 洗浄前後の洗浄液中に含まれる粒子数により清浄度合を判断します。

洗浄液中に含まれる有機物である洗剤や溶剤などの炭素量を測定して、検査品の清浄度合がわかります。 また、検査品の表面を拭取ることで表面に付着している有機物の量を分析できます。

専用溶媒の中に溶け込んだ油分量を測定します。 洗浄液の中に含まれる油分量から検査品表面の清浄度合がわかります。また、検査品の表面を拭取ることで表面に付着している油分の量が分析できます。

水溶液中に含まれる陰イオンを測定します。検査品表面に残存している酸や塩などの種類や量が分析できます。

水溶液中の金属イオンを測定します。検査品表面に残存している不純物の金属種や量が分析できます。